佳能向美国得克萨斯电子研究所交付其最先进纳米压印光刻NIL系统

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2、将向总部位于美国得克萨斯州的半导体联盟得克萨斯电子研究所(TIE)交付佳能最先进的纳米压印光刻NIL系统FPA-1200NZ2C。

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