SK海力士针对DRAM生产线评估KCTech的超临界流体清洁剂

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1、【SK海力士针对DRAM生产线评估KCTech的超临界流体清洁剂】SK海力士正在评估KCTech的超临界流体清洁剂是否可用于其DRAM生产线。

2、超临界是指温度和压力高于其临界点的状态。

3、超临界状态的流体具有介于液体和气体之间的性质，可以轻松溶解晶圆上不需要的残留物和污染物。

4、SK海力士表示，KCTech预计将在年内通过评估，但由于在清洁器中使用超临界流体是一项复杂的技术，因此可能需要更长的时间。

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